FOUP - Wikipedia
网页FOUP (an acronym for Front Opening Unified Pod [1] or Front Opening Universal Pod [2]) is a specialized plastic carrier designed to hold silicon wafers securely and safely in a controlled environment, and to allow the wafers to be transferred between machines for processing or measurement.
一盒晶圆为啥是25片？ - 知乎
网页前开式晶圆传送盒FOUP(Front Opening Unified Pod)，主要用于Fab厂中晶圆的保护、运送、储存，是一种专属于12吋晶圆厂内的自动化传送系统重要的传载容器。 它最重要的功能是确保每25片的晶圆在它的保护下避免在每一台生产机台之间的传送被外部环境中的微尘污染 ...
前开式晶圆传送盒 - 百度百科
网页前开式晶圆传送盒FOUP(Front Opening Unified Pod)。 这是半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器，其内部可以容纳25片的300mm晶圆，而其主要的组成元件为一个能容纳25片晶圆的前开式容器并有一个前开式的门框专司容器的开闭，是一种专属 …
晶圆载具晶圆盒/晶舟盒系列-FOUP / FOSB / Wafer SMIF Pod-中 …
网页晶圆载具晶圆盒/晶舟盒系列-FOUP / FOSB / Wafer SMIF Pod，可保护、运送、並储存晶圆，在运输傳载及储存时提供安全防护。.
300 mm Front Opening Unified Pods (FOUPs) | USD - Entegris
网页2021年6月7日 · Front opening unified pod platform with superior microenvironment control that provides clean and secure 300 mm wafer transport. Industry-proven door provides equipment interoperability and long life. Integral wafer supports give excellent wafer plane performance and reliable wafer access.
FOUP Semiconductor Wafer Handling: Everything You Need To …
网页2023年8月17日 · FOSP is a front-opening shipping box used to transfer the wafer from the wafer fabrication unit to the semiconductor manufacturing unit. On the other hand, FOUP is a front-opening unified pod that stores and moves the wafer from one process to another in the semiconductor factory.
前開式晶圓傳送盒 - 维基百科，自由的百科全书
网页前開式晶圓傳送盒 （英語： FOUP, Front Opening Unified Pod），是 半導體製程 中被用來保護、運送、並儲存 晶圓 的一種 容器。. 其內部通常可以容納25片的300毫米（12英寸）的晶圓，其主要的組成元件是一個能容納25片晶圓的前開式容器並有一個前開式的門框專司容器 ...
前開式晶圓傳送盒 - 維基百科，自由的百科全書
网页前開式晶圓傳送盒 （英語： FOUP, Front Opening Unified Pod），是 半導體製程 中被用來保護、運送、並儲存 晶圓 的一種 容器。. 其內部通常可以容納25片的300公釐（12英寸）的晶圓，其主要的組成元件是一個能容納25片晶圓的前開式容器並有一個前開式的門框專司容器 ...
前开式晶圆传送盒 - 维基百科，自由的百科全书
网页前开式晶圆传送盒 （英语： FOUP, Front Opening Unified Pod），是 半导体制程 中被用来保护、运送、并储存 晶圆 的一种 容器。. 其内部通常可以容纳25片的300毫米（12英寸）的晶圆，其主要的组成元件是一个能容纳25片晶圆的前开式容器并有一个前开式的门框专司容器 ...
存储半导体芯片的核心工具 (FOUP) - Sensirion AG
网页存储半导体芯片的核心工具 (FOUP) 储存半导体芯片的重要工具，也是洁净室环境的一个组成部分. Sensirion的产品在尺寸、精度和性能上存在优势，可以容易地集成到晶圆载体系统中，从而提高系统的可靠性和性能。.